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龙在江湖 体育百科 2024-12-18 194 0

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处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。通过利用低温等离子体这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、涂覆、光刻胶灰化等目的。

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