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原则上，最轻的元素，可分析出铍（z=4），但由于仪器的局限性和轻元素的低X射线产量，往往难以量化，所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪，可以分析从轻元素的钠（z=11）到铀，而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。

它是通过分光晶体对不同波长的X射线荧光进行衍射而达到分光的目的，然后用探测器探测不同波长处的X射线荧光强度，这项技术称为波长色散(WDX)X射线荧光光谱仪。波长色散X射线荧光光谱仪(见图2-2-3)主要由X射线发生器、分光系统(晶体分光器)、准直器、检测器、多道脉冲分析器及计算机组成。